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螺桿真空泵的工作原理主要基于一對(duì)螺桿在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生吸氣和排氣作用。這種泵的設(shè)計(jì)使得螺桿與螺桿之間存在一定的間隙，因此在工作時(shí)相互之間無(wú)摩擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)且噪音低。由于工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，因此干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，具有真空更高、消耗功率更低、節(jié)能、免維修等優(yōu)點(diǎn)。

螺桿真空泵的工作過程可以分為吸氣、運(yùn)輸、排氣三個(gè)階段。在吸氣階段，與進(jìn)氣口相連的齒間容積逐漸變大，此時(shí)齒間容積內(nèi)壓力較低，氣體在壓力差作用下進(jìn)入齒間容積內(nèi)。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，齒間容積往排氣側(cè)移動(dòng)，當(dāng)齒間容積與進(jìn)氣口隔絕之后，就形成一個(gè)完整的齒間容積，此時(shí)吸氣過程結(jié)束。在運(yùn)輸階段，氣體被壓縮和排出，實(shí)現(xiàn)真空狀態(tài)。然后在排氣階段，當(dāng)氣體被壓縮到一定程度后，進(jìn)入排氣端，通過排氣口排出。

干式螺桿真空泵的主軸通常由一對(duì)相互嚙合的螺旋形葉片構(gòu)成，通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)快速旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生強(qiáng)大的負(fù)壓環(huán)境。螺桿的螺距和形狀與主軸上的葉片相呼應(yīng)，通過形成連續(xù)的密封空間，實(shí)現(xiàn)氣體的連續(xù)吸入和排出。這種設(shè)計(jì)使得干式螺桿真空泵能夠在多個(gè)行業(yè)中得到廣泛應(yīng)用，包括微電子、半導(dǎo)體、制藥等領(lǐng)域。